SI20-05型掃描干涉儀是在SI20-03型掃描干涉儀基礎上改進成功的。改進后的儀器不僅可以用于觀察和測量633 nm氦氖激光器（或附近波長其它激光器）縱模情況，也可以用于觀察和測量光通訊波段1550nm光纖激光器（單）縱模參數。
SI20-05型掃描干涉儀技術指標：
1波長范圍：1550 ±50nm / 633 ±50nm
2 自由光譜范圍：7.5GHz / 5GHz / 1.5GHz.
3 精細常數：³100
4 掃描頻率: 0.5-100Hz （快/慢兩擋連續可變）
5 掃描電壓：0-200V(鋸齒波/三角波)
6 掃描線性度：£ 10%