離子交換混床為深度脫鹽設備，用于制造高純水，產水電阻率為 10-18MΩ/CM(25℃), 二氧化硅含量（SiO2）≤0.02mg/L �；齑卜譃閱巍㈦p床、拋光床，雙床可一用一備，（不影響生產用水的連續性）；可串聯使用，以提高產水水質，有效利用樹脂的交換容量；當生產用水量大時，可并聯使用，運行相當靈活、方便。出水電導率由高精度電阻率儀監控。