橢圓偏振法簡稱橢偏法，是一種先進(jìn)的測量薄膜納米級厚度的方法。橢偏法的基本原理由于數(shù)學(xué)處理的困難，直到本世紀(jì)40年代計算機(jī)出現(xiàn)以后才發(fā)展起來。橢偏法的測量經(jīng)過幾十年來的不斷改進(jìn)，已從手動進(jìn)入到全自動、變?nèi)肷浣恰⒆儾ㄩL和實時監(jiān)測，極大地促進(jìn)了納米技術(shù)的發(fā)展。橢偏法的測量精度很高（比一般的干涉法高一至二個數(shù)量級），測量靈敏度也很高（可探測生長中的薄膜小于0.1nm的厚度變化）。利用橢偏法可以測量薄膜的厚度和折射率，也可以測定材料的吸收系數(shù)或金屬的復(fù)折射率等光學(xué)參數(shù)。因此，橢偏法在半導(dǎo)體材料、光學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

 

　　系統(tǒng)連接結(jié)構(gòu)示意圖

 

 

 

1.主機(jī)接口  2.電腦接口  3.電源插座  4.保險絲  5.編碼器  6.光電接收器  7.檢偏器   8.樣品平臺   9.電機(jī)  10.1/4λ波片   11.BNC接口  12.起偏器  13.激光器  14.電腦主機(jī)